特許

J-GLOBAL ID：200903037445150823

露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 小出 博之 ,  鶯塚 和仁
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-024937
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217178
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 第一の走査による露光と、第二の走査による露光との接続部分の露光量ムラを減らす。【手段】 原版であるレチクル3に形成されたレチクルパターンをレーザ光源1により感光体としてのウエハ5上に転写する照明系と、レーザ光源1による照明領域を設定する絞り2と、レチクル3及びウエハ5を所定の走査方向に同期走査する機構とを有し、レチクル3及びウエハ5の同期走査による露光と、走査方向と交差する方向へのウエハ5の相対的移動とを繰り返し、各露光領域が接続された転写パターンをウエハ5上に形成するに際して、レチクル3及びウエハ5の同期走査時に、走査方向に対し垂直な方向の照明領域を設定する絞り2を、前記照明系の光軸に対し垂直な面内で、走査方向と交差する方向に駆動しながら露光を行うための絞り駆動機構を備えている。

請求項（抜粋）：

原版に形成されたパターンを露光光により感光体上に転写する照明系と、前記露光光による照明領域を設定する絞りと、前記原版及び前記感光体を所定の走査方向に同期走査する機構と有し、前記原版及び前記感光体の同期走査による露光と、前記走査方向と交差する方向への前記感光体の相対的移動とを繰り返して、各露光領域が接続された転写パターンを前記感光体上に形成する露光装置において、前記原版及び前記感光体の同期走査時に、前記走査方向に対し垂直な方向の照明領域を設定する前記絞りを、前記照明系の光軸に対し垂直な面内で、前記走査方向と交差する方向に駆動しながら露光を行うための絞り駆動機構を備えていることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 E ,  H01L 21/30 516 D

Fターム (12件)：

5F046AA11 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA06 ,  5F046DB01 ,  5F046DC02