特許
J-GLOBAL ID：200903037447522205
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260209
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109704
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 誘導結合プラズマ質量分析装置の冷却器の動作を最適化することにより、安定した動作をする誘導結合プラズマ質量分析装置を実現する。【構成】 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンを二次電子増倍管に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、高周波誘導結合プラズマを発生するための電力を増幅する電力増幅手段22aと、電力増幅手段22aからの進行波電力と反射波電力とを検出するカプラ手段23と、カプラ手段23で検出された進行波電力と反射波電力との和を参照して冷却能力を変化させつつ電力増幅手段22aを冷却する冷却手段22bとを備えたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
請求項（抜粋）：
高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンを二次電子増倍管に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、高周波誘導結合プラズマを発生するための電力を増幅する電力増幅手段(22a)と、電力増幅手段(22a)からの進行波電力と反射波電力とを検出するカプラ手段(23)と、カプラ手段(23)で検出された進行波電力と反射波電力との和を参照して冷却能力を変化させつつ電力増幅手段(22a)を冷却する冷却手段(22b)とを備えたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件)：
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