特許
J-GLOBAL ID:200903037454796868

光軸補正機構及びこれを用いた色素レーザ発振装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-077634
公開番号(公開出願番号):特開平11-274627
出願日: 1998年03月25日
公開日(公表日): 1999年10月08日
要約:
【要約】【課題】本発明は、波長掃引により光軸変化が生じてもこれを補正する。【解決手段】第2の駆動ミラー21上における色素レーザ光の光軸変化のモニター情報に基づいて第1の駆動ミラー20を回転駆動し、この後にサンプリングミラー22上における色素レーザ光の光軸変化のモニター情報に基づいて第2の駆動ミラー21を回転駆動し、補正点23における色素レーザ光の光軸の位置及びその入射角度の2つを補正する。
請求項(抜粋):
被補正光の光路上に配置された光軸補正用の第1の駆動ミラーと、この第1の駆動ミラーの反射光路上に配置され、この第1の駆動ミラーで反射した前記被補正光を補正点に導くためのサンプリングミラーに向かって反射する光軸補正用の第2の駆動ミラーと、前記第2の駆動ミラー及び前記サンプリングミラー上における前記被補正光の各光軸変化をそれぞれモニターする光軸モニター手段と、この光軸モニター手段からの各モニター情報を受けて前記第1及び第2の駆動ミラーをそれぞれ回転駆動するフィードバック制御手段と、を具備したことを特徴とする光軸補正機構。
IPC (3件):
H01S 3/13 ,  H01S 3/101 ,  H01S 3/20
FI (3件):
H01S 3/13 ,  H01S 3/101 ,  H01S 3/20 Z
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭64-063919
  • 特開平1-278987
  • レ-ザ発振装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-033345   出願人:レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝
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