特許
J-GLOBAL ID：200903037471507250
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-000734
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205015
出願日： 1994年01月10日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】ワイヤーを走行させたままでワイヤー磨耗量を連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止すると共に、作業能率を向上させる。【構成】ワイヤー14のワイヤー走行系路のうちワイヤー14のみの電気抵抗を有する2点間に一対の導体ローラ18を配設し、電源装置42から導体ローラを介してワイヤー14の前記2点間に電流を流し、2点間の電流値をワイヤー14に磨耗がない時点から連続的に電流計44で測定し、測定した電流値の下降量からワイヤー14の磨耗度を検知するようにした。即ち、ワイヤー14が磨耗して細くなったワイヤー14は、磨耗のないワイヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤー14は、磨耗のないワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗量に応じて電流値が下降してくるという電気的特性を用いてワイヤー磨耗度を検知するようにした。
請求項（抜粋）：
走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー走行系路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有する2点間に電流を流してその電流値又は電圧値を測定し、前記測定した電流値又は電圧値の変化からワイヤーの磨耗量を検知することを特徴とするワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法。
IPC (3件)：
B24B 27/06
, B28D 5/04
, H01L 21/304 311
