特許
J-GLOBAL ID：200903037475363813
静電容量型加速度センサ及び圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023675
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213925
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 静電容量型センサの加速度及び圧力の検出精度を向上させること。【構成】 基板10とカバー20との当接によって可動電極41と固定電極42との間隔の精度が良くなる。またカバー20の端部及び基板10が台座30に固定されているので、カバー20の端部と基板10が台座30を介して連結される。このとき基板10とカバー20とが、単に当接しているのみであるので、基板10とカバー20との熱膨張係数の差があっても、温度が変化した場合に、前記当接部分の両者の位置関係がずれるため、前記当接部分に応力が生じない。またカバー20の外側から可動電極側41へ第1通気路が形成され、台座の外側から可動電極側41へ第2通気路が形成され、可動電極41の両面に圧力差が生じるので、この圧力差によって可動電極41が変位する。
請求項（抜粋）：
基板の一方の面に設けられた可動電極と、この可動電極を覆う様に設けられたカバーと、このカバーの一面に前記可動電極に対向して設けられた固定電極とを備えた静電容量型センサにおいて、前記基板とカバーとが当接し、前記カバーの端部及び前記基板が台座に固定されていることを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
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