特許
J-GLOBAL ID：200903037479462808
液晶表示装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-285045
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140487
出願日： 1993年11月15日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】液晶表示装置の製造方法において欠陥防止処理を改善して、歩留まりの向上を計る。【構成】ITOの成膜後に、ITOのエッチャントによるスライトエッチングを行い、絶縁膜のピンホール欠陥中のITOを除去し、表示電極17Pと補助容量電極12の短絡を防止する。
請求項（抜粋）：
基板上に第1のメタルを積層する工程と、該第1のメタルをパターニングする工程と、該第1のメタルを覆って絶縁膜を形成する工程と、該絶縁膜上に半導体層を形成する工程と、該半導体層をパターニングする工程と、該半導体膜を覆って前記絶縁膜上に透明導電膜を形成する工程と、該透明導電膜をフォトエッチによりパターニングする工程と、該透明導電膜及び前記半導体膜を覆って前記絶縁膜上に第2のメタルを積層する工程と、該第2のメタルをパターニングする工程とを有する液晶表示装置の製造方法において、前記透明導電膜を形成する工程以降に、前記透明導電膜のエッチャントで露出した前期透明導電膜の表面をスライトエッチングする工程が設けられたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
