特許
J-GLOBAL ID:200903037481066910
放射線検出器及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-193789
公開番号(公開出願番号):特開2005-030806
出願日: 2003年07月08日
公開日(公表日): 2005年02月03日
要約:
【課題】解像度特性を向上することが可能であるとともに、感度特性を向上することが可能な放射線検出器及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】放射線検出器は、画素単位の光電変換素子13が複数配列してなる光電変換基板11と、光電変換基板11上に配置され放射線により励起されて蛍光を発生する蛍光材料及び蛍光材料を結合するバインダを含むシンチレータ層39と、光電変換基板11上に形成されシンチレータ層39を画素単位に区画する隔壁部38と、を備えている。シンチレータ層39を構成するバインダは、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、及び、二液性硬化樹脂の少なくとも1種によって構成されたことを特徴とする。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
画素単位の光電変換素子が配列してなる光電変換基板と、
前記光電変換基板上に配置され、放射線により励起されて蛍光を発生する蛍光材料及び蛍光材料を結合するバインダを含むシンチレータ層と、
前記光電変換基板上に形成され、前記シンチレータ層を画素単位に区画する隔壁部と、
を備え、
前記バインダは、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、及び、二液性硬化樹脂の少なくとも1種によって構成されたことを特徴とする放射線検出器。
IPC (6件):
G01T1/20
, G01T7/00
, H01L27/14
, H01L27/146
, H01L31/09
, H04N5/32
FI (6件):
G01T1/20 B
, G01T7/00 A
, H04N5/32
, H01L31/00 A
, H01L27/14 K
, H01L27/14 C
Fターム (42件):
2G088EE01
, 2G088EE29
, 2G088FF02
, 2G088GG16
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ37
, 4M118AA01
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA03
, 4M118CA05
, 4M118CA11
, 4M118CA34
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118CB13
, 4M118EA20
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB16
, 4M118FB22
, 4M118GA10
, 4M118HA30
, 5C024AX12
, 5C024CY47
, 5C024EX24
, 5C024GX09
, 5F088AA01
, 5F088BA03
, 5F088BA13
, 5F088BA18
, 5F088BB06
, 5F088BB07
, 5F088EA04
, 5F088GA02
, 5F088HA15
, 5F088LA08
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