特許
J-GLOBAL ID：200903037481199626
エキシマレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041212
公開番号（公開出願番号）：特開平8-204274
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 インジェクション終了時におけるハロゲンガス濃度が常に最適値になるように、レーザ発振容器内の実際のハロゲンガス濃度に応じてハロゲンガスの補給量を調整して、長時間の動作安定性を向上させる。【構成】 レーザ発振容器2にハロゲンガスを補給するハロゲンガス供給手段7の動作を制御するハロゲンガス注入制御部15は、充電電圧制御部14の設定する充電電圧値V1を監視し、充電電圧値V1が予め定めた基準値を超えると前記レーザ発振容器2へのハロゲンガスの供給を開始させ、かつ、前記充電電圧値V1が下降状態から上昇状態に変る変曲点を検出したとき前記レーザ発振容器2へのハロゲンガスの供給を終了させるようにしたエキシマレーザ装置。
請求項（抜粋）：
放電電極を備え希ガスとハロゲンガスの混合ガス中で放電を行うことによりエキシマレーザ光を形成するレーザ発振容器と、前記レーザ発振容器の出力を検出するレーザ光検出回路と、前記レーザ光検出回路の検出出力に基づいて前記放電電極に印加する電圧を設定制御する充電電圧制御部を備える高電圧電源と、前記レーザ発振容器にハロゲンガスを補給するハロゲンガス供給手段と、前記ハロゲンガス供給手段の動作を制御して前記レーザ発振容器に供給されるハロゲンガス量を調整するハロゲンガス注入制御部とを備え、前記ハロゲンガス注入制御部は、前記充電電圧制御部の設定する電圧値を監視し、前記電圧値が予め定めた基準値を超えるとき前記レーザ発振容器へのハロゲンガスの供給を開始させ、かつ、前記電圧値が下降状態から上昇状態に変る変曲点を検出したとき前記レーザ発振容器へのハロゲンガスの供給を終了させる手段からなることを特徴とするエキシマレーザ装置
IPC (2件)：
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