特許
J-GLOBAL ID：200903037481587472
カラーフィルターの欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-024026
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219943
出願日： 1995年02月13日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルターの欠陥の面積を正確に測定し、良否判定を行うことができるカラーフィルタの欠陥検査装置を提供する。【構成】 カラーフィルターの欠陥検出装置は、カラーフィルター1に光を照射する照明手段4と、フィルター1からの光を検出する検出手段5と、検出された輝度値の入力波形から該入力波形を所定のピッチ分移動させた参照波形を減算処理することにより得られた差分波形から欠陥面積を測定する処理手段7と、測定欠陥面積を既知の欠陥面積を有する比較用カラーフィルターに対して測定された欠陥面積と比較することにより測定欠陥面積を補正する補正手段8とを備える。
請求項（抜粋）：
カラーフィルターに照明光を照射する照明手段と、カラーフィルターからの光を輝度値として検出する検出手段と、該検出手段により検出された輝度値の入力波形から該入力波形を所定のピッチ分移動させた参照波形を減算処理することにより得られた差分波形から欠陥面積を測定する処理手段と、さらに該処理手段により測定された欠陥面積を既知の欠陥面積を有する比較用カラーフィルターに対して測定された欠陥面積と比較することにより測定されたカラーフィルターの欠陥面積を補正する補正手段とを備えたことを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, G02B 5/20 101
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
, G01N 21/88 J
, G02B 5/20 101
, G06F 15/62 400
