偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鈴木誠 , 大浦一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-122688
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308863
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】偏向ミラーのミラー基板の動的撓みの抑制。【解決手段】ねじり梁23の非支持端は一対の連結部材24,24を介しミラー基板と連結される。ミラー基板をねじり梁23と直接結合して振動させた場合の動的撓み量のピーク位置より、回転中心軸から遠い位置においてミラー基板と連結部材24が結合される。このような連結部材の介在によりミラー基板の動的撓み変形が抑制され、動的歪み量の小さい領域が拡大し、かつ、その領域内の動的撓み量も減少する。ねじり梁23の支持端33が結合した支持部50が、ねじり梁の回転に伴って同じ方向に弾性変形することによりミラー基板に作用する曲げモーメントが減少し、これによってもミラー基板の動的撓み変形が抑制される。【選択図】図29

請求項（抜粋）：

ミラー基板が、一端を支持されたねじり梁をねじり回転軸として往復振動する偏向ミラーであって、前記ミラー基板と前記ねじり梁の非支持端は一対の同一長の連結部材を介して連結され、前記一対の連結部材の第1の端は、前記ミラー基板の回転中心軸に対して対称な特定位置において前記ミラー基板の辺にそれぞれ結合され、前記一対の連結部材の第2の端は前記ねじり梁の非支持端にそれぞれ結合され、前記一対の連結部材及び前記ミラー基板の辺とが全体として前記ねじり梁の非支持端を頂点とする略2等辺三角形状の構造をなし、前記一対の連結部材の第1の端が前記ミラー基板の辺と結合される前記特定位置は、前記ミラー基板を前記ねじり梁の非支持端に直結して往復振動させた場合における前記ミラー基板の動的撓み量のピーク位置より、前記ミラー基板の回転中心軸から遠い位置に選ばれたことを特徴とする偏向ミラー。

IPC (5件)：

G02B26/08 , B41J2/44 , G02B26/10 , H04N1/036 , H04N1/113

FI (5件)：

G02B26/08 E , G02B26/10 104Z , H04N1/036 Z , B41J3/00 D , H04N1/04 104Z

Fターム (31件)：

2C362BA17 , 2C362BA49 , 2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ06 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB16 , 2H045AB73 , 5C051AA02 , 5C051CA07 , 5C051DB02 , 5C051DB22 , 5C051DB24 , 5C051DB30 , 5C051DC04 , 5C051DC05 , 5C051DC07 , 5C051EA01 , 5C072AA03 , 5C072BA01 , 5C072BA03 , 5C072BA17 , 5C072CA06 , 5C072DA02 , 5C072DA04 , 5C072DA21 , 5C072HA02 , 5C072HA14

引用特許：

出願人引用 (11件)

特許第2981600号公報
光スキャナー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-239665 出願人：キヤノン株式会社
特許第3011144号公報

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審査官引用 (7件)

マイクロミラー素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-203152 出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
光スキャナー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-239665 出願人：キヤノン株式会社
光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-195527 出願人：株式会社リコー

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