特許

J-GLOBAL ID：200903037487498153

酸素センサ素子の製造方法及び製造装置

発明者： 野村 悟 ,  堀田 泰道 ,  藤井 並次 ,  佐野 博美
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-026034
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206378
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 内側面の必要な部分に内側電極を設けることができ,かつその厚みが均一かつ調節可能であり,固体電解質の形状設計の自由度が高く,酸素センサ素子の製造方法及び製造装置を提供すること。【解決手段】 酸素センサ素子1の内側電極14を形成するに当たり,ペースト吐出穴を有するノズルを準備し,次いで,ノズルを内室100に挿入し,ペースト吐出穴を底部103に沿わせて相対的に回転させると共にペーストを吐出することにより反応電極形成部を形成し,その後,固体電解質体10を焼成する。

請求項（抜粋）：

一端を閉塞し,他端を開放した内室を有するコップ型固体電解質体を有し,該固体電解質体の外側面には外側電極を,一方,上記内室の内側面にはリード部と反応電極とよりなる内側電極を有する酸素センサ素子を製造する方法において,上記内側電極を形成するに当たり,まず,内側電極形成用の導電性のペーストを吐出するためのペースト吐出穴を有するノズルを準備し,次いで,上記ノズルの先端部を上記固体電解質体の内室に挿入し,上記ペースト吐出穴を上記内室の内側面に沿わせて相対的に回転させると共に,上記ペーストを吐出することにより上記内室の内側面に対してペーストを塗布して反応電極形成部を形成し,その後,上記固体電解質体を焼成することを特徴とする酸素センサ素子の製造方法。