特許
J-GLOBAL ID：200903037489544730
液状レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333271
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180499
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 解像性とスルホール上端の角部のレジスト被膜の形成が良好な液状レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感光剤、及び溶媒、チクソ剤AとBを含有する。チクソ剤Aは、溶媒とチクソ剤Aの総量に対し10重量%分散した分散液の剪断速度4S-1における見かけ粘度が、200cps未満となる無機微粉末で、チクソ剤Bは、溶媒とチクソ剤Bの総量に対し10重量%分散した分散液の剪断速度4S-1における見かけ粘度が、200cps以上となる無機微粉末で、且つチクソ剤AとBの総量が、チクソ剤AとBを除いた上記液状レジスト組成物の固形量に対して6〜20重量%で、チクソ剤Bの量が、チクソ剤AとBの総量に対して20〜60重量%である。
請求項（抜粋）：
?@成分としてアルカリ可溶性樹脂、感光剤、及び溶媒を含有し、さらにチクソ剤Aと、このチクソ剤Aと異なるチクソ剤Bを含有する液状レジスト組成物であって、?A上記チクソ剤Aは、上記溶媒に全体として10重量%含有させた分散液が、剪断速度4S-1における見かけ粘度で、200cps未満となる無機微粉末であり、?B上記チクソ剤Bは、上記溶媒に全体として10重量%含有させた分散液が、剪断速度4S-1における見かけ粘度で、200cps以上となる無機微粉末であり、さらに、?C上記チクソ剤AとBの総量が、チクソ剤AとBを除いた上記液状レジスト組成物の固形量に対して6〜20重量%で、?D上記チクソ剤Bの量が、上記チクソ剤AとBの総量に対して20〜60重量%で含まれていることを特徴とする液状レジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/038
, H05K 3/00
