圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣澤勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311377
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142088
出願日： 1996年11月06日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】気密部が破損した場合でも、測定中のガス等の流出を所定の安全な範囲に抑える。【解決手段】流体圧を検知するセンサ素子10と、このセンサ素子10を収容したハウジング16,18と、ハウジング16,18から外側に突出して流体圧力を導く筒状の流体導入口20を設ける。流体導入口20内の一部に、この流体導入口20内の空間を狭くした流量制限部22を設ける。

請求項（抜粋）：

流体圧を検知するセンサ素子と、このセンサ素子を収容したハウジングと、上記ハウジングから外側に突出して設けられ流体圧力を導く筒状の流体導入口と、この流体導入口内の一部にこの流体導入口内の空間を狭くした流量制限部が設けられていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/14

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/14

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