特許
J-GLOBAL ID：200903037496772730
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247631
公開番号（公開出願番号）：特開平6-092450
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】半導体製造に係るクリーンな搬送システムを提供することにある。【構成】天井部にクリーンエアー用高性能フィルター1と吹き出し口2とガイド3により斜め内側方向にエアーカーテン4を形成し、床面の吸引用小径多孔5よりフィルター6及びダクト7を通じ循環する。ボールコンベアーは、テーブル8、ボールコンベアー9に金属ボール10が付き、接触面の金属板11内側に樹脂12をライニングしており、移動時の消音効果を有するとともに本体自身にも吸引用の小径多孔13が設けてあり、発生した異物の拡散、舞い上がりを防止している。【効果】金属球を上下配置し、内側に樹脂をライニングすることにより、静音でしかも軽移動可能の効果がある。エアーカーテンで仕切り、コンベア本体も吸引用多孔を設ける事により、微小異物の舞い上がり及び拡散を防止できる。
請求項（抜粋）：
排気用の小径多孔を多数有するテーブルとこれを支える架台との間に金属ボールを配置しており、テーブルと架台との対向面に樹脂ライニングを設けていること、を特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 49/00
, B65G 29/00
, B65G 39/02
