特許
J-GLOBAL ID：200903037504652609

3次元計測方法とその計測装置

発明者：
劉 剛

劉 剛 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-268415
公開番号（公開出願番号）：特開2006-084286
出願日： 2004年09月15日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】従来の3次元計測方法とその計測装置は、基準となるパラメータや平面が実際の平面サンプルとは異なっていたり、カメラノイズやコントラストのバラツキの存在によって精度が低くなったり、ハードウェアが複雑になるという問題がある。【解決手段】本発明の位相シフト法による3次元計測方法は、測定前に基準サンプルを使用し全計測点について、基準サンプルにおける位相を測定し、前記基準サンプルにおける位相の位相接続処理を行い、その結果を誤差最小化処理し、得られた全計測点の位相を基準位相として求め、測定時測定対象物について算出した位相から基準位相を差し引くことによって測定対象物の高さを得る3次元計測方法とその計測装置である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
位相シフト法による3次元計測方法であって、 測定前に基準サンプルを使用し任意に定めた全計測点に対して、基準サンプルにおける位相を測定し、該位相の位相接続処理を行い、その結果に対して誤差最小化処理を施し、得られた全計測点における位相を基準位相として予め求めておき、測定対象物を測定して算出した位相から前記基準位相を差し引くことによって測定対象物の高さを得ることを特徴とする3次元計測方法。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G01B 11/24
FI (2件)：
G01B11/24 E ,  G01B11/24 K
Fターム (16件)：
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065EE00 ,  2F065FF06 ,  2F065FF61 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ33
引用特許：
出願人引用 (4件)
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