特許

J-GLOBAL ID：200903037505600505

基板搬送装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 若本 信二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248016
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060000
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】 基板の交換作業の少なくとも一部における処理能力の向上を図る。【解決手段】 搬出アーム52が、アーム駆動機構56によりY軸方向に駆動され、基板受け渡し位置に移動される。次いで、ステージWSTに形成された凹溝31a、31bに搬出アーム52の少なくとも一部を挿入するため、ステージWSTが基板受け渡し位置に向かって移動する。そして、基板受け渡し位置へのステージの移動が終了し、搬出アームが凹溝に挿入された状態で、搬出アームとホルダ18とがZ軸方向に相対駆動され、基板が搬出アームを介してホルダから離間される。このように、ホルダからの搬出アームに対する基板の受け渡しは、高速で移動するステージを基板受け渡し位置まで移動させて、搬出アームの一部をステージの凹溝に挿入した後、搬出アームとホルダとをZ軸方向に相対移動させ、基板をホルダから離間させることにより行う。

請求項（抜粋）：

2次元面内で移動可能な基板保持部材からの基板の搬出を少なくとも行う基板搬送装置であって、搬出アームと;前記基板保持部材が搭載され、該基板保持部材が搭載される側の面に、前記搬出アームの少なくとも一部を、前記2次元面内の所定方向から挿入可能で所定方向に延びる凹溝が形成されたステージと;前記搬出アームを前記2次元面に平行な面内で駆動し、前記搬出アームを基板受け渡し位置に移動させるアーム駆動機構と;前記基板が前記基板保持部材に保持された状態で、前記凹溝に前記搬出アームの少なくとも一部を挿入するため前記ステージを基板受け渡し位置に向かって移動させるステージ駆動装置と;前記搬出アームを前記凹溝に挿入後、前記搬出アームと前記基板保持部材とを2次元面に直交する方向に相対的に駆動して前記基板を前記基板保持部材から離間させる第1の相対駆動機構と;を備える基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 F ,  B65G 49/07 G ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 514 D

Fターム (24件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA15 ,  5F031GA18 ,  5F031GA47 ,  5F031HA01 ,  5F031KA18 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031PA02 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA29 ,  5F046FA09 ,  5F046FC08