特許
J-GLOBAL ID：200903037508792430
外観検査装置の感度補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088758
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294452
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 被検査対象物の表面状態が変動しても、さらには、光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検出の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を提供する。【構成】 光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光をCCDセンサーに取り込むことにより対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査装置において、CCDセンサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた対象物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出し、この補正信号により検出感度の補正を行う。
請求項（抜粋）：
光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光をCCDセンサーに取り込むことにより対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査装置において、CCDセンサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた対象物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出し、この補正信号により検出感度の補正を行うことを特徴とする外観検査装置の感度補正方法。
IPC (2件)：
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