特許
J-GLOBAL ID：200903037512414393
ウエーハ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235044
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084873
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 ウエーハ処理装置に関し、酸性ガスとアルカリ性ガスの混触を防止するウエーハ処理装置を提供し、ウエーハ処理に際しての安全性の確保及び環境汚染の防止を図ることを目的とする。【構成】 蓋部に試料挿入口を有する密閉型処理槽2、処理槽2内に開口する排気ダクト3、排気ダクト3に接続された密閉型薬品保管タンク5、排気ダクト3に接続された密閉型共洗い液保管タンク6、処理薬品及び共洗い液を薬品保管タンク5或いは共洗い液保管タンク6から処理槽2内へ供給し、且つ該処理槽2内を循環させ、更に該処理槽2内から薬品保管タンク5或いは共洗い液保管タンク6内へ回収する機能を有する薬液供給回路10、処理槽2に純水を流通させる給排水手段7、8、薬品保管タンクへの新薬品供給手段7′、排気ダクト3の基部に配設された排ガス洗浄装置9を具備し、ウエーハの薬品処理から水洗までが同一処理槽内でなされる。
請求項（抜粋）：
開閉自在な試料挿入口を有する蓋部に上部が覆われ、該蓋部から所定寸法の空間部を隔てた高さまでオーバフロー方式により処理液が満たされる密閉型のウエーハ処理槽と、該空間部内に末端部が開口する排気ダクトと、該処理槽内に供給する処理薬品を収容し且つ該排気ダクトに接続された密閉型の薬品保管タンクと、該処理槽内に供給する共洗い液を収容し且つ該排気ダクトに接続された密閉型の共洗い液保管タンクと、該処理薬品及び共洗い液を該薬品保管タンク或いは共洗い液保管タンクから処理槽内へ供給し、且つ該処理槽内を循環させ、更に該処理槽内から該薬品保管タンク或いは共洗い液タンク内へ回収する機能を有する薬液供給回路と、該薬液供給回路内に挿入されたフィルターと、該処理槽に純水を流通せしめる給水手段と、該処理層からの排水手段と、該薬品保管タンクへの新薬品の供給手段と、該排気ダクトの基部に配設された排ガス洗浄装置とを具備し、ウエーハの薬品処理から水洗までが同一処理槽内でなされることを特徴とするウエーハ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/08
, H01L 21/306
