厚膜パターンの形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-272114
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092136
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】研削が容易で機械的強度が低い障壁形成材料を用いても、接着シートを積層することにより機械強度の向上がはかられる。【解決手段】無機粉体と、樹脂バインダーとを主成分とするパターン形成材料からなるパターン形成層を基板上に形成する工程と、レーザーによって加工可能な支持基材と接着剤層からなる接着シートの該接着剤層と接するように該パターン形成層上に該接着シートを積層する工程と、該接着シートをレーザー描画法によりパターニングする工程と、パターニングされた接着シートの開口部に対応するパターン形成材料を除去する工程と、該パターン形成層上に残留した接着シートを除去する工程と、焼成によりパターン形成材料を焼結する工程とを含むことを特徴とする厚膜パターンの形成方法。

請求項（抜粋）：

無機粉体と、樹脂バインダーとを主成分とするパターン形成材料からなるパターン形成層を基板上に形成する工程と、レーザーによって加工可能な支持基材と接着剤層からなる接着シートの該接着剤層と接するように該パターン形成層上に該接着シートを積層する工程と、該接着シートをレーザー描画法によりパターニングする工程と、パターニングされた接着シートの開口部に対応するパターン形成材料を除去する工程と、該パターン形成層上に残留した接着シートを除去する工程と、焼成によりパターン形成材料を焼結する工程とを含むことを特徴とする厚膜パターンの形成方法。

IPC (11件)：

H01J 9/02 , B29C 67/04 , B32B 9/00 , C04B 41/91 , C09J 7/02 JHP , C09J 7/02 JKJ , C09J 7/02 JLE , H01J 9/14 , H05K 3/04 , B29K105:04 , B29L 9:00

FI (9件)：

H01J 9/02 F , B29C 67/04 , B32B 9/00 A , C04B 41/91 Z , C09J 7/02 JHP , C09J 7/02 JKJ , C09J 7/02 JLE , H01J 9/14 D , H05K 3/04 D

前のページに戻る