水晶振動子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309677
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315881
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【構成】平面電極9の反転パターン形状を有するフォトレジスト5と金属膜3とをエッチングマスクとして水晶基板1をエッチングして、水晶振動子の外形形状を形成し、さらにフォトレジストをエッチングマスクにして金属膜をエッチングし、さらに全面に電極膜7を形成し、フォトレジストを除去し、平面電極と側面電極11とを形成する。【効果】水晶基板からフォトエッチ技術により、音叉型や厚みすべり型水晶振動子を容易に形成することができる。

請求項（抜粋）：

薄板の水晶基板に金属膜を形成し、金属膜を水晶振動子の外形形状にパターニングする工程と、金属膜上に所定の電極形状とはネガティブな関係のパターンと露出した水晶基板平面の一部とに電極膜形成時の保護膜としてフォトレジストを形成する工程と、露出した水晶基板をエッチングし所定の水晶振動子形状に加工する工程と、フォトレジストをマスクに金属膜をエッチングする工程と、水晶基板の平面と側面とに電極膜を形成する工程と、フォトレジストとフォトレジスト上に形成された電極膜とを除去する工程と、金属膜をエッチングし水晶基板面と密着した平面電極と側面電極とを残存させる工程とを有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-071313
特公昭60-038891
特開昭54-047495

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