特許
J-GLOBAL ID：200903037521322302
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222310
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063496
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 プラズマスパッタによるプラズマスリット2の自動クリーニング機能を有するプラズマチャンバ1を備えたイオン源において、プラズマスリット2側と引出電極系との間の放電が発生し難く、プラズマスリット2にスパッタ電圧を供給するための配線を工具類を使用せずに容易に行うことができるイオン源を提供する。【解決手段】 プラズマスリット2のチャンバ内側面に、スパッタ電圧印加線20の一端部が嵌合されるOリング溝状のガイド溝2bが形成されている。スパッタ電圧印加線20は、上記ガイド溝2bに嵌合された状態で、BNシールド5bとプラズマスリット2との間に挟持されてなるサンドイッチ構造によって固定され、プラズマスリット2と電気的に接続されている。
請求項（抜粋）：
イオン引出孔が穿設されている導電性のイオン引出部を有し、内部でプラズマが生成されるプラズマチャンバと、イオン引出部と対向して配されてプラズマ中のイオンを外部へ引き出すための引出電極系とを備え、上記プラズマチャンバの内壁面が誘電体で被われると共に、導電性のプラズマチャンバ本体とイオン引出部とが絶縁部材によって電気的に絶縁されており、プラズマチャンバ本体とイオン引出部との間に電位差を生じさせるためのスパッタ電源と、一端が上記イオン引出部と接続されて上記スパッタ電源の印加電圧をイオン引出部へ供給するためのスパッタ電圧印加線とを備えているイオン源において、上記イオン引出部のチャンバ内側面に、上記スパッタ電圧印加線の一端部が嵌合されるガイド溝が形成されており、上記スパッタ電圧印加線は、上記イオン引出部のガイド溝に嵌合された状態で、上記イオン引出部のチャンバ内側面を被っている誘電体と上記イオン引出部との間に挟持されていることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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