特許
J-GLOBAL ID：200903037533496322

反射または透過赤外光による微細構造の検査装置または検査方法

発明者：
ウーヴェ,グラーフ

ウーヴェ,グラーフ について

, 
ランベルト,ダンナー

ランベルト,ダンナー について


出願人/特許権者：
ビズテック セミコンダクター システムズ ゲーエムベーハー

ビズテック セミコンダクター システムズ ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 三澤 正義
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-515921
公開番号（公開出願番号）：特表2008-502929
出願日： 2005年05月23日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
従来使用していた検査装置および検査方法では、反射された可視光または紫外光を使用し、それによりたとえばウェハの微細構造サンプルを解析している。本発明の目的は、この装置の可能な用途を増やすことにあり、すなわち構造的な詳細を明らかにすることである。たとえば、塗装材料や中間材料が不透明であることから可視光または紫外光で見ることができないように両面を塗膜化されたウェハなどが対象となる。上述の目的は、反射光として赤外光を使用する一方で、光を透過させることにより実現される。すなわち、赤外線画像のコントラストを大きく改善し、サンプルを、反射または透過赤外光および反射可視光で同時に検査することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
サンプルを支持するサンプル支持部と、 入射光モードで前記サンプルを照射する入射光照射部と、 透過光モードで前記サンプルを照射する透過光照射部と、 を備えることを特徴とする微細構造サンプルの検査装置。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G01N 21/956
FI (2件)：
G02B21/00 ,  G01N21/956 A
Fターム (24件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB03 ,  2H052AB05 ,  2H052AB06 ,  2H052AB10 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC13 ,  2H052AC14 ,  2H052AC26 ,  2H052AC27 ,  2H052AD33 ,  2H052AD35 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 欧州特許公報EP455857号
  • 米国特許公報US6587193号
  • 米国特許公開公報US2003/0202178
審査官引用 (2件)
  • 顕微赤外装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-068157   出願人：日本電子株式会社
  • 光学装置及び顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253097   出願人：オリンパス光学工業株式会社

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