特許
J-GLOBAL ID：200903037537794379
検査ソケットおよび電気特性検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248409
公開番号（公開出願番号）：特開平10-098083
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 汎用性向上,検査コスト低減が図れる検査ソケットの提供。【解決手段】 一面に整列配置された電極を有する被検査物の検査ソケットであって、前記被検査物の電極間隔と同一となり前記単一の被検査物よりも広い面積に亘って設けられる複数の測定端子を上面に有しかつ前記各測定端子に電気的に接続される外部端子を周縁に有する配線板からなるソケット本体と、前記ソケット本体に着脱自在に重ねられるとともに前記被検査物を着脱自在に収容する収容部を複数有しかつ各収容部に収容された被検査物の電極が前記測定端子に接触するように構成される板状のキャリヤと、前記キャリヤに保持される各被検査物上に着脱自在に重ねられる抑え蓋と、少なくとも前記ソケット本体とキャリヤを相互に位置決めする位置決め手段とを有する構成になっている。
請求項（抜粋）：
一面に整列配置された電極を有する被検査物の検査ソケットであって、前記被検査物の電極間隔と同一となり前記単一の被検査物よりも広い面積に亘って設けられる複数の測定端子を上面に有しかつ前記各測定端子に電気的に接続される外部端子を周縁に有する配線板からなるソケット本体と、前記ソケット本体に着脱自在に重ねられるとともに前記被検査物を着脱自在に収容する収容部を複数有しかつ各収容部に収容された被検査物の電極が前記測定端子に接触するように構成される板状のキャリヤと、前記キャリヤに保持される各被検査物上に着脱自在に重ねられる抑え蓋と、少なくとも前記ソケット本体とキャリヤを相互に位置決めする位置決め手段とを有することを特徴とする検査ソケット。
IPC (6件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 23/32
, H01R 33/76
, H01R 33/88
H01L 21/66 D
, G01R 1/073 F
, G01R 31/26 J
, H01L 23/32 A
, H01R 33/76
, H01R 33/88 Z
