特許

J-GLOBAL ID：200903037545861352

露光装置

発明者： 磯端 純二 ,  高橋 浩之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020669
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199398
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 露光装置において、スループットを低下させずに倍率補正が行えるようにする。【解決手段】 基板3上の複数の露光領域を順次露光位置にステップ移動させるとともに、各露光位置においてその露光領域上に原板1の像を走査露光する露光装置であって、基板上のマークと原板上のマークを検出して露光倍率の誤差を検出する誤差検出手段13,15と、この誤差を補正する補正手段16とを有するものにおいて、誤差検出手段は、基板上の最初の露光位置において露光倍率の誤差を検出するものであり、補正手段はこの検出結果に基づいて各露光領域に対する露光の倍率を補正するものである。

請求項（抜粋）：

基板上の複数の露光領域を順次露光位置にステップ移動させるとともに、各露光位置においてその露光領域上に原板の像を走査露光する露光装置であって、前記基板上のマークと前記原板上のマークを検出して露光倍率の誤差を検出する誤差検出手段と、この誤差を補正する補正手段とを有するものにおいて、前記誤差検出手段は、前記基板上の最初の露光位置において前記露光倍率の誤差を検出するものであり、前記補正手段はこの検出結果に基づいて各露光領域に対する露光の倍率を補正するものであることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (8件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 A ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 520 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-075586   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-246921
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-100621   出願人：株式会社ニコン
• 等倍投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-266960   出願人：日本電気株式会社
• 特開平3-246921