特許
J-GLOBAL ID：200903037549095921
結晶製造方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有吉 教晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-344777
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169286
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 結晶製造工程に於ける輻射スクリーンのサポート部へのセットを人手によらずに自動化する。【解決手段】 原料素材1を溶融収容するルツボ2と、輻射スクリーン3と、サポート部4と、輻射スクリーン3の吊掛機構5とを有し、吊掛機構5とサポート部4との間に一定電位差を持たせ、原料素材溶融中は、吊掛機構5よりルツボ2上方一定高さに輻射スクリーン3を、吊掛機構5を除く装置内部品および引上げ装置チャンバーと非接触状態に担持し、原料素材1の溶融後は輻射スクリーン3を下降して、輻射スクリーン3とサポート部4とが接した時点を電位差の変動により検出し、この検出時点から定められた時間又は距離だけさらに輻射スクリーン3の下降を続け、吊掛機構5の掛止具を輻射スクリーン3から離脱させると共に上昇させる。
請求項（抜粋）：
引上げ装置チャンバー内に設けられ、原料素材を溶融収容するルツボと、結晶引上げ中に結晶引上げ域を囲繞する輻射スクリーンと、前記ルツボ周囲に配置されて、前記輻射スクリーンを安定支持するサポート部と、さらに、引上げ開始前にあっては、引上げ装置上部より垂下され、その下端にフック状の掛止具を有し、同掛止具により結晶の引上げ域周囲に設置されるべき前記輻射スクリーンを掛止して吊下昇降可能な吊掛機構と、を含む結晶引上げ装置により結晶を製造する結晶製造方法であって、前記吊掛機構を前記引上げ装置本体から電気的に絶縁すると共に、前記サポート部との間に一定電位差を持たせ、原料素材溶融中は、前記吊掛機構によりルツボ上方一定高さに前記輻射スクリーンを、吊掛機構を除く装置内部品および前記引上げ装置チャンバーと非接触状態に担持し、原料素材溶融後は前記輻射スクリーンを下降して、輻射スクリーンと前記サポート部とが接した時点を前記電位差の変動により検出し、この検出時点から定められた時間又は距離だけさらに前記吊掛機構により吊下された前記輻射スクリーンの下降を続けることで前記掛止具を前記輻射スクリーンから離脱させると共に上昇させた後、結晶引上げを行うことを特徴とする結晶製造方法。
Fターム (4件)：
4G077AA02
, 4G077CF10
, 4G077EG30
, 4G077PF52
