特許

J-GLOBAL ID：200903037556745672

バンプ形成方法

発明者： 斎藤 隆 ,  岩渕 寿章 ,  田中 徹
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082333
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277552
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 高精度のパンプを確実に形成することができるバンプ形成方法を提供すること。【解決手段】 バンプが形成される対象物10の表面に、前記バンプの材料12を印刷マスク11を用いて複数回重ね印刷し、前記バンプを形成する。この複数回目の前記重ね印刷時に、スペーサ20を用いて前記印刷マスクと対象物との間隔を空けて重ね印刷する。

請求項（抜粋）：

バンプが形成される対象物の表面に、前記バンプの材料を印刷マスクを用いて複数回重ね印刷し、前記バンプを形成するバンプ形成方法であって、複数回目の前記重ね印刷時に、スペーサを用いて前記印刷マスクと対象物との間隔を空けて重ね印刷することを特徴とするバンプ形成方法。