特許
J-GLOBAL ID:200903037558174591

光学的情報記録媒体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-009043
公開番号(公開出願番号):特開平9-198712
出願日: 1996年01月23日
公開日(公表日): 1997年07月31日
要約:
【要約】【課題】誘電体層を、ZnS と、窒素を膜中のシリコンと結合させたシリコン窒酸化物の混合物とすることにより、機械的強度が高まり、オーバーライトサイクル特性を向上させた相変化型光学的情報記録媒体を提供する。【解決手段】基板上1に、少なくとも第1の誘電体層2と、レーザー光線の照射によって光学的に識別可能な状態間で可逆的変化を生じる材料からなる記録層3と、第2の誘電体層4を積層し、少なくとも前記第1の誘電体層2と前記第2の誘電体層4のうちの一方がZnSとシリコン窒酸化物の混合物とする。この誘電体層は、ZnSとSiO2とSi3N4の混合物からなるターゲットから希ガスと窒素の混合ガス雰囲気でスパッタ法で成膜し、誘電体中におけるZnS 量が40mol%以上95mol%以下、かつSi3N4とSiO2のモル比(Si3N4/SiO2 )を0.05以上1以下の範囲とするのが好ましい。
請求項(抜粋):
基板上に、少なくとも第1の誘電体層と、レーザー光線の照射によって光学的に識別可能な状態間で可逆的変化を生じる材料からなる記録層と、第2の誘電体層を積層してなる光学的情報記録媒体であって、少なくとも前記第1の誘電体層と前記第2の誘電体層のうちの一方がZnS とシリコン窒酸化物の混合物からなることを特徴とする光学的情報記録媒体。
IPC (4件):
G11B 7/24 534 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531
FI (4件):
G11B 7/24 534 N ,  C23C 14/06 L ,  C23C 14/34 A ,  G11B 7/26 531

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