ウェハ検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114767
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308426
出願日： 1997年05月02日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】本発明は、検査者によるウェハ汚染を防止することができるウェハ検査装置を提供する。【解決手段】マクロ検査部13およびミクロ検査部14と検査者17との間に隔壁部材18を設け、ウェハ16面に対する検査者17の目視によるマクロ検査は、隔壁部材18の一部に設けられた透明部材201を嵌込んだ窓部20を介して行い、また、ウェハ顕微鏡142によるウェハ16上の局所的なミクロ検査は、隔壁部材18外部に貫通して設けられたウェハ顕微鏡142の接眼部1421を覗き込んで行う。

請求項（抜粋）：

ウェハについて少なくともマクロ検査を行うマクロ検査部を有するウェハ検査装置において、前記マクロ検査部と検査者との間を遮るように設けられた隔壁部材と、この隔壁部材の少なくとも一部を前記マクロ検査部のウェハを目視するための透明部材で形成した窓部とを具備したことを特徴とするウェハ検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01N 21/88 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/66 J , H01L 21/66 L , G01N 21/88 E , H01L 21/68 A

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