特許
J-GLOBAL ID:200903037569564537

単結晶の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西野 卓嗣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-293336
公開番号(公開出願番号):特開平7-144994
出願日: 1993年11月24日
公開日(公表日): 1995年06月06日
要約:
【要約】【目的】 種結晶を用いた回転引き上げ法による単結晶の製造方法において、簡便で確実な種結晶の保持方法を明らかにする。【構成】 種結晶に切欠部を形成し、種結晶釣下具の下端に設けた筒状部に前記種結晶を挿入し、前記種結晶釣下具の前記筒状部の側面に設けた窓からブロック状契止具を挿入して該契止具を前記種結晶の切欠部に嵌合させ、前記種結晶釣下具の筒状部の外周に沿って前記窓を横切るようにワイヤを巻回することにより、種結晶を保持する。
請求項(抜粋):
回転引き上げ法による単結晶の製造方法において、種結晶に切欠を形成し、種結晶釣下具の下端に設けた筒状部に前記種結晶を挿入し、前記釣下具の筒状部の側面に設けた窓からブロック状契止具を挿入して該契止具を前記種結晶の切欠部に嵌合させ、前記釣下具の窓部の周りにワイヤを巻回することにより、種結晶を保持することを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (4件):
C30B 15/32 ,  C30B 29/30 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/64

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