特許
J-GLOBAL ID：200903037570094080
研磨クロスの表面評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137670
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306924
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 研磨クロスの表面粗さを円滑かつ適確に評価することができる方法を提供する。【構成】 研磨クロスの表面にレプリカフィルムを重ね、押圧して、研磨クロス表面の凹凸をレプリカフィルムに転写し、このレプリカフィルムの凹凸を測定することにより研磨クロス表面の評価を行う。
請求項（抜粋）：
研磨クロスの表面にレプリカフィルムを重ね、押圧して、研磨クロス表面の凹凸をレプリカフィルムに転写し、この転写レプリカフィルムの凹凸を測定することを特徴とする研磨クロスの表面評価方法。
引用特許：
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