特許

J-GLOBAL ID：200903037577502010

感光性組成物およびそれを用いた画像形成方法

発明者： 市村 國宏 ,  高崎 龍一郎
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173635
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010396
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】波長780〜1200nmの光、特に半導体レーザー光に対し選択的に高い感度を示す酸増殖型光重合性組成物であって、酸素遮断膜等を付与することなく高感度で尖鋭な画像を得ることができる感光性組成物を提供する。これにより、高い生産性、作業性を維持して高精度なレーザー直接描画を可能とする。【解決手段】少なくとも2個のビニルオキシ基を有する化合物、赤外吸収色素及び酸増殖剤を含有することを特徴とする感光性性組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

少なくとも2個のビニルオキシ基を有する化合物、赤外吸収色素及び酸増殖剤を含有することを特徴とする感光性性組成物。

IPC (2件)：

G03F7/004 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 505 ,  H01L21/30 502R

Fターム (15件)：

2H025AB03 ,  2H025AB09 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC23 ,  2H025BE00 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB29 ,  2H025CB52 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17