特許
J-GLOBAL ID:200903037578971773

走査光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 金井 英幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-390182
公開番号(公開出願番号):特開2002-189181
出願日: 2000年12月22日
公開日(公表日): 2002年07月05日
要約:
【要約】【課題】 描画領域では複数のレーザー光の主走査方向の走査位置を揃えることによりポリゴンミラーの大型化を防ぎつつ、複数のビームの書き出し位置を正確に定めること。【解決手段】 発光波長が異なる複数の半導体レーザー10a,10bから発した光束は、ポリゴンミラー14により同時に偏向され、fθレンズ20を介して走査対象面15上に結像する。fθレンズの第2、第3レンズ22,23の間に配置された分離ミラー30で反射された描画範囲外の光束はモニター用受光素子31により受光され、同期信号を発生させる。倍率色収差を補正する第2レンズ22上の回折レンズ構造24は、描画範囲Rdに達する光束が通る領域Rcにのみ形成されている。波長の異なる2本のレーザー光は、描画範囲では揃えられ、モニター用受光素子31に入射する際には走査方向に分離し、各光束に応じた独立の同期信号を発生させる。
請求項(抜粋):
発光波長が異なる複数の光源と、前記各光源から発した光束を同時に偏向する単一の偏向器と、前記偏向器により偏向された複数の光束を走査対象面上に結像させる結像光学系と、結像光学系を構成する少なくとも一部の光学素子を経由した描画範囲外の光束を受光して同期信号を発する同期検出手段とを備え、前記結像光学系は、前記走査対象面の描画範囲内に達する光束が通る領域では倍率色収差が補正されると共に、前記同期検出手段に達する光束が通る領域では倍率色収差を有し、前記同期検出手段に入射する複数の光束を光束の走査方向に分離することを特徴とする走査光学装置。
IPC (6件):
G02B 26/10 ,  G02B 13/00 ,  G02B 13/08 ,  G02B 13/18 ,  H04N 1/036 ,  H04N 1/113
FI (7件):
G02B 26/10 A ,  G02B 26/10 B ,  G02B 13/00 ,  G02B 13/08 ,  G02B 13/18 ,  H04N 1/036 Z ,  H04N 1/04 104 A
Fターム (50件):
2H045BA24 ,  2H045BA32 ,  2H045CA04 ,  2H045CA34 ,  2H045CA55 ,  2H045CA68 ,  2H045CA89 ,  2H087KA19 ,  2H087LA22 ,  2H087PA01 ,  2H087PA03 ,  2H087PA17 ,  2H087PB01 ,  2H087PB03 ,  2H087QA02 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA34 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA07 ,  2H087RA08 ,  2H087RA12 ,  2H087RA46 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA02 ,  5C051DB02 ,  5C051DB22 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C051DE02 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072DA02 ,  5C072DA04 ,  5C072DA21 ,  5C072HA02 ,  5C072HA06 ,  5C072HA09 ,  5C072HA13 ,  5C072HB13 ,  5C072XA05

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