特許
J-GLOBAL ID：200903037585619414
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076280
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274589
出願日： 1998年03月24日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】圧電板の破損を防止できる積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法を提供する。【解決手段】金属薄板14と接続用突起16からなる複数の電極板17と、複数の圧電板11とを交互に積層し、金属薄板14を導電性接着層12を介して各圧電板11に接合した積層体15を具備するとともに、接続用突起16を積層体15から交互に少なくとも2方向に突出せしめ、同一方向に突出した接続用突起16同士を電気的に接続し、さらに、積層体15の外周面に外装樹脂層33を形成してなる積層型圧電アクチュエータであって、圧電板11間における接続用突起16の両面に絶縁性ガラス層31を形成するとともに、該絶縁性ガラス層31と圧電板11間に絶縁性樹脂32を充填してなるものである。
請求項（抜粋）：
金属薄板と接続用突起からなる複数の電極板と、複数の圧電板とを交互に積層し、前記金属薄板を導電性接着層を介して前記各圧電板に接合した積層体を具備するとともに、前記接続用突起を前記積層体から交互に少なくとも2方向に突出せしめ、同一方向に突出した前記接続用突起同士を電気的に接続し、さらに、前記積層体の外周面に外装樹脂層を形成してなる積層型圧電アクチュエータであって、前記圧電板間における接続用突起の両面に絶縁性ガラス層を形成するとともに、該絶縁性ガラス層と前記圧電板間に絶縁性樹脂を充填してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
