特許

J-GLOBAL ID：200903037586369500

表面へのポリマー導波管の押出し

発明者： アントニオ・ラファエル・ガッロ ,  ジェームズ・ジョーゼフ・マクドナ ,  ゴードン・ジェイ・ロビンズ ,  ロバート・リーヴズ・ショー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-144591
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082643
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 基板表面上に光導波管を形成すること。【構成】 導波管構造を、表面から所定の距離だけ上方に置かれ、好ましくは並進テーブルによって表面に対して相対的に移動されるノズルから、表面上に直接に押し出す。所定の距離は一定に保ち、相対移動の速度は、押し出される材料内の分子配向が均一になるように調節し、こうして、導波管の軸に沿って十分に均一な屈折率を維持することが好ましい。ノズル内に区切りを設けると、多層導波管の形成、または同心円状のクラッド層もしくは保護層の同時形成が可能になる。導波管は、表面上にまたは電子モジュール上に装着したチップ間に直接書き込むことによって、後でパターン形成されるカーテンとして形成すると好都合である。

請求項（抜粋）：

押出しノズルを表面から所定の距離だけ上方に位置決めするステップと、前記押出しノズルを通して粘性材料を押し出すステップと、前記ノズルと前記表面を相対的に移動するステップと、前記ノズルと前記表面の間で前記粘性材料の張力を所定の水準に維持するステップとを含む、表面上に導波管を形成する方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-004597