特許
J-GLOBAL ID：200903037589594068
赤外線検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339193
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172629
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 赤外線の受光効率が良好で且つ赤外線検出部から基板側への不当な熱流出量を少なくできて、赤外線検出の感度を高めることができる赤外線検出素子を提供する。【構成】 基板1の表面に形成された絶縁膜4上に赤外線検出部2が設けられ、該赤外線検出部2の下方の絶縁膜4よりも下層の位置には、赤外線検出部2と基板1との相互間の熱伝導を抑制する熱分離空間部5が形成されて、赤外線検出部2が絶縁膜4により支持されている赤外線検出素子であって、前記赤外線検出部2の外周の各辺の長さb1、b2は、熱分離空間部5上における絶縁膜4の各辺の長さa1、a2の概ね2/3になるように構成されている。
請求項（抜粋）：
基板表面に形成された絶縁膜上に赤外線検出部が設けられ、該赤外線検出部の下方の絶縁膜よりも下層の位置には、赤外線検出部と基板との相互間の熱伝導を抑制する熱分離空間部が形成されて、赤外線検出部が絶縁膜により支持されている赤外線検出素子であって、前記赤外線検出部の外周の各辺の長さは、熱分離空間部上における絶縁膜の各辺の長さの概ね2/3になるように構成されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (2件)：
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