特許
J-GLOBAL ID:200903037590063645
研磨用複合繊維
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-273918
公開番号(公開出願番号):特開2001-098425
出願日: 1999年09月28日
公開日(公表日): 2001年04月10日
要約:
【要約】【課題】 半導体ウエハー、液晶ガラス、ハードディスク基板などの精密研磨に適した研磨特性を有しながら、なおかつ高強度であり、製糸性や製織、製編等の後加工性にも優れる研磨用複合繊維を提供する。【解決手段】 芯鞘型2成分複合繊維において芯鞘とも熱可塑性ポリマーからなり、芯成分の比率が40〜95重量%であり、芯成分に平均粒径0.1〜4.0μmの無機粒子を10〜70重量%含有し、破断強度が2.1cN/dtex以上であることを特徴とする研磨用複合繊維。
請求項(抜粋):
芯鞘型2成分複合繊維において芯鞘とも熱可塑性ポリマーからなり、芯成分の比率が40〜95重量%であり、芯成分に平均粒径0.1〜4.0μmの無機粒子を10〜70重量%含有し、破断強度が2.1cN/dtex以上であることを特徴とする研磨用複合繊維。
IPC (6件):
D01F 8/04
, B24D 11/00
, B24D 17/00
, D01F 1/10
, D01F 8/12
, D01F 8/14
FI (6件):
D01F 8/04 Z
, B24D 11/00 D
, B24D 17/00 E
, D01F 1/10
, D01F 8/12 Z
, D01F 8/14 C
Fターム (42件):
3C063AA01
, 3C063AB01
, 3C063BA40
, 3C063BB01
, 3C063BB02
, 3C063BB03
, 3C063BB04
, 3C063BB25
, 3C063EE01
, 3C063EE10
, 3C063EE26
, 3C063FF23
, 4L035BB31
, 4L035BB55
, 4L035BB59
, 4L035BB89
, 4L035BB91
, 4L035CC07
, 4L035FF01
, 4L035HH10
, 4L035JJ03
, 4L035JJ05
, 4L035JJ07
, 4L035KK01
, 4L035KK05
, 4L041AA18
, 4L041AA19
, 4L041AA20
, 4L041BA02
, 4L041BA05
, 4L041BA21
, 4L041BC20
, 4L041BD20
, 4L041CA06
, 4L041CA21
, 4L041CB02
, 4L041CB04
, 4L041CB05
, 4L041CB25
, 4L041DD01
, 4L041DD14
, 4L041DD21
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