特許
J-GLOBAL ID：200903037590149558
半導体レーザ素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-139625
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332675
出願日： 2002年05月15日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：
【要約】【課題】 半導体レーザの共振器端面に、ダメージを与えず、かつ前端面と後端面とで非対称にコーティング膜を形成できる簡便な方法を提供する。【解決手段】 活性層側電極面4aを上側に向け、反対側電極面4bをコーティング用治具台1の載置面2に接触させてレーザバーの共振器前端面5a及び共振器後端面5bが垂直に位置するよう装填する。隣り合うレーザバー3において、共振器前端面同士あるいは後端面同士が向き合うように等間隔に載置して、端面には接触物のない状態で整列させた後、隣り合う二本のレーザバーの表面電極4aを選択的に遮蔽板6で覆い整列した全レーザバーの共振器前端面もしくは共振器後端面の片面のみを露出させる。半導体レーザ素子の共振器前端面5aに所定のコーティング膜形成を行い、次に共振器後端面5bが露出するように遮蔽板6をレーザバー一つ分移動させて、共振器後端面5bに所定のコーティング膜形成を行う。
請求項（抜粋）：
上下に電極面が設けられ該電極面の間に活性層が設けられた半導体レーザ素子が形成されたウエハを分割してレーザバーを得るステップと、前記半導体レーザ素子における共振器端面に保護用コーティング膜を形成するステップとを少なくとも備えた半導体レーザ素子の製造方法において、コーティング用治具台の載置面に対して前記電極面の一方が接触するよう前記レーザバーを載置し、前記共振器端面における前端面同士かあるいは後端面同士を向き合わせて等間隔に配置するステップと、隣り合う二本の前記レーザバーの上面を遮蔽板で覆い、前記レーザバーの前記共振器前端面か前記共振器後端面のどちらか片面のみを露出させるステップと、露出された前記共振器端面にコーティング膜を形成するステップと、前記遮蔽板をずらして、コーティング膜が形成されていない側の前記共振器端面を露出させるステップと、コーティング膜が形成されていない側の前記共振器端面に、コーティング膜を形成するステップとを備えたことを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5F073AB05
, 5F073DA32
, 5F073DA33
, 5F073DA34
