特許

J-GLOBAL ID：200903037601573713

基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者： 松澤 実 ,  長阪 道雄
出願人/特許権者： サイペック株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233658
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079569
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】極めて簡易な構成で極薄型であり、基板の側面における保持を容易且つ確実に行なうことを可能とする基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することができるようにする。【解決手段】基板(101)の側面を保持する保持部(11)を有する基板側面保持手段(12、13)と、基板側面保持手段と接続された形状記憶合金からなる金属体(14)と、金属体に所定の電力を供給する制御手段(17)とを備え、制御手段の電力供給により金属体にジュール熱を発生させ、金属体の伸縮により基板側面保持手段を駆動させるようにして、アクチュエータ等を設置することなく簡易で厚さの薄いフォーク100とすることができるようにする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板の側面を保持する保持部を有する基板側面保持手段と、 前記基板側面保持手段と接続された形状記憶合金からなる金属体と、 前記金属体に所定の電力を供給する制御手段と を含み、 前記制御手段の電力供給により前記金属体にジュール熱を発生させ、当該金属体の伸縮により前記基板側面保持手段を駆動することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

FI (9件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 C ,  H01L21/68 L ,  H01L21/68 M ,  B25J15/06 Z ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 D ,  B65G49/07 F ,  B65G49/07 H

Fターム (27件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV07 ,  3C007EV24 ,  3C007FU08 ,  3C007HS06 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA28 ,  5F031GA36 ,  5F031JA05 ,  5F031JA10 ,  5F031JA13 ,  5F031JA22 ,  5F031KA01 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031NA04 ,  5F031NA15 ,  5F031PA26