特許
J-GLOBAL ID:200903037602717611
高熱伝導性材料およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-077845
公開番号(公開出願番号):特開平9-268069
出願日: 1996年03月29日
公開日(公表日): 1997年10月14日
要約:
【要約】【課題】高温高強度を有すると同時に高熱伝導性を有する材料を提供する。【解決手段】窒化ケイ素を主成分とし、周期律表第3a族元素(RE)をRE2O3 換算で3〜5モル%、焼結体中の不純物的酸素のSiO2 換算量とのSiO2 /RE2 O3 モル比が0.9〜3.3、Al含有量が酸化物換算で0.2重量%以下の成形体を窒素を含む常圧下1500〜1800°C、引き続き、窒素圧1.5気圧以上2000°C以上の温度で焼成し、さらに1000°C〜1400°Cので結晶化処理を行い、窒化ケイ素の平均結晶粒径5μm以上、粒界が少なくともRE、SiおよびOを含む結晶相により構成し、熱伝導率70W/m・K以上、1300°C強度が400MPa以上の材料を提供する。
請求項(抜粋):
窒化ケイ素を主成分とし、周期律表第3a族元素(RE)を酸化物(RE2 O3 )換算で3〜5モル%、前記周期律表第3a族元素の酸化物換算量と焼結体中の不純物的酸素のSiO2 換算量とのSiO2 /RE2 O3 で表されるモル比が0.9〜3.3、アルミニウム含有量が酸化物換算で0.2重量%以下の組成からなるとともに、窒化ケイ素結晶の平均粒径が5μm以上であり、その粒界が少なくとも周期律表第3a族元素、珪素および酸素を含む結晶相により構成され、且つ熱伝導率が70W/m・K以上、1300°Cにおける抗折強度が400MPa以上であることを特徴とする高熱伝導性材料。
IPC (2件):
FI (4件):
C04B 35/58 102 C
, C04B 35/58 102 T
, C04B 35/64 A
, C04B 35/64 C
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