特許

J-GLOBAL ID：200903037612591772

単結晶育成装置

発明者： 志垣 一郎 ,  小川 陸郎 ,  川手 剛雄
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-157987
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009095
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 固体と融体との濡れの小さい楕円面鏡を用いたFZ法による単結晶育成装置を提供する。【構成】 楕円面鏡1の一方の焦点位置にタングステン板10を配置し,他方の焦点位置に試料3を配置して,楕円面鏡1に開口させた貫通穴8から入射させるレーザビームで前記タングステン板10を照射,加熱して,放射する赤外線を楕円面鏡1で反射,集光させて試料3を加熱する。前記タングステン板10は小面積の発光源とすることができるので,他方の焦点位置に在る試料3を局部的に加熱することができ,従って,溶融部以外の固化部分は十分に低温に保たれ,融体と固体との濡れが小さくなり,安定した溶融帯を形成することができる。

請求項（抜粋）：

楕円面鏡を用いた浮遊帯溶融法による単結晶育成装置において,前記楕円面鏡の一方の焦点位置にタングステン板を配置し,他方の焦点位置に試料の溶融部を位置させ,前記楕円面鏡に開口させた貫通穴から前記タングステン板にレーザビームを照射するようにしたことを特徴とする単結晶育成装置。