特許
J-GLOBAL ID：200903037614466207
照明装置のための光学素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 橋本 良郎
, 風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-505094
公開番号（公開出願番号）：特表2006-523944
出願日： 2004年04月13日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】本発明は、≦193nmの波長を有する照明装置のための光学素子(100)であって、この照明装置は光源(102)と、フィールド面(108)と、出射瞳(106)とを有してなる光学素子に関する。【解決手段】光学素子(100)は多数のファセットを有し、これらのファセットは、各々のファセットが前記光源(102)から光を受け取り、光をフィールド面(24)における割り当てられた離散的な点に導くように設けられており、かような偏向角を有し、離散的な点は、フィールド面(108)におけるフィールドが所定の形で照明されるように、選択されており、各々のファセットは、フィールド面(24)における夫々に割り当てられた離散的な点によって、照明装置の出射瞳(106)の割り当てられた領域を照明する。
請求項（抜粋）：
193nm以下の波長を有する照明装置のための光学素子(100)であって、前記照明装置は、光源(102)と、フィールド面(108)と、出射瞳(106)とを有してなる光学素子において、
この光学素子(100)は、多数のファセットを有し、これらファセットは、各ファセットが、前記光源(102)から光を受け取り、光をフィールド面(24)における割り当てられた離散的な点に導くよう偏向角を有して設けられており、前記離散的な点は、前記フィールド面(108)におけるフィールドが所定の形で照明されるように、選択されていること、および各々のファセットは、前記フィールド面(24)における夫々に割り当てられた離散的な点によって、前記照明装置の前記出射瞳(106)の割り当てられた領域を照明することを特徴とする光学素子(100)。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 5/08
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, G02B5/08 B
2H042DB14
, 2H042DD01
, 2H042DD04
, 2H042DE04
, 2H097BA10
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046GB01
