特許

J-GLOBAL ID：200903037614718214

液体窒素供給装置

発明者： 和田 直樹 ,  小川 敬
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社
代理人 (1件)： 金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-305945
公開番号（公開出願番号）：特開2004-136256
出願日： 2002年10月21日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】除菌フィルタの完全性試験終了後に、インラインにおいてフィルタエレメントを乾燥させることができ、しかも除菌フィルタからの断熱材の着脱作業が容易な液体窒素供給装置を提供する。【解決手段】液体窒素供給装置1の第1,2液体窒素供給ライン31,32に介装されてなる除菌フィルタ6を開閉自在な断熱ケース7内に収容し、除菌フィルタ6に完全性試験装置8から試験流体を供給する試験流体供給ライン9を連通させるとともに、第1,2液体窒素供給ライン31,32の除菌フィルタ6の入口側に熱風供給ライン4を、また出口側に除菌フィルタ6内を通過した水蒸気を含む熱風を排出する熱風排出ライン5を連通させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

液体窒素を貯留する貯槽を備え、除菌フィルタが介装され、上記貯槽内の液体窒素を使用点に供給する液体窒素供給ラインを備えた液体窒素供給装置において、上記除菌フィルタを開閉自在な断熱ケース内に収容し、この除菌フィルタの除菌性能を確認する完全性試験装置を設け、上記液体窒素供給ラインの除菌フィルタの上流側と下流側とのうちの何れか一方にフィルタエレメントを乾燥させる熱風を供給する熱風供給ラインを連通させるとともに、他方に上記フィルタエレメントを通過した熱風を排気する熱風排気ラインを連通させたことを特徴とする液体窒素供給装置。

IPC (4件)：

B01J4/00 ,  B01D29/11 ,  B65B31/00 ,  B65B63/08

FI (5件)：

B01J4/00 103 ,  B65B31/00 A ,  B65B63/08 ,  B01D29/10 510C ,  B01D29/10 530Z

Fターム (18件)：

3E053AA01 ,  3E053BA03 ,  3E053DA03 ,  3E053EA03 ,  3E053JA02 ,  3E056BA14 ,  3E056CA20 ,  3E056DA05 ,  3E056EA05 ,  3E056HA05 ,  3E056HA08 ,  4G068AA01 ,  4G068AB12 ,  4G068AC02 ,  4G068AC16 ,  4G068AD03 ,  4G068AD12 ,  4G068AF40