特許

J-GLOBAL ID：200903037615435755

表面検査方法及び表面検査装置

発明者： 磯崎 久 ,  山崎 倫啓 ,  吉川 浩 ,  神酒 直人 ,  前川 博之 ,  高橋 直弘
出願人/特許権者： 株式会社トプコン ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-088555
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287504
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】受光反射光のS/N比を改善し、表面検査精度の向上を図る。【解決手段】受光部に受光偏光角変更手段26を有し、標準粒子が塗布された基板表面からの散乱反射光を前記受光偏光角変更手段により受光偏光角を変え受光し、受光出力のS/N比が最大となった状態に受光偏光角を設定し、表面検査を行う。

請求項（抜粋）：

受光部に受光偏光角変更手段を有し、標準粒子が塗布された基板表面からの散乱反射光を前記受光偏光角変更手段により受光偏光角を変え受光し、受光出力のS/N比が最大となった状態に受光偏光角を設定し、表面検査を行う表面検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/88 H ,  H01L 21/66 J

Fターム (39件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD11 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL09 ,  2F065LL33 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  2G051EC02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA06 ,  4M106CA41 ,  4M106DB14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-286942