感光性組成物及びそれを用いたパタ-ン形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000198
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199963
出願日： 1999年01月04日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】紫外線等の活性エネルギー線の照射によって厚膜パターンの形成が可能である感光性組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】下記式(1)で表される繰り返し単位を有する光硬化性シラザン化合物(A)、少なくとも2個の(メタ)アクリロイル基を有する光硬化性化合物(B)及び光重合開始剤(C)を含有する感光性組成物。【化1】(上式において、R1はラジカル重合性不飽和基を含む基であり、R2、R3及びR4は互いに同一であるか又は異なる基であり、水素原子、炭素原子数1〜3のアルキル基又はアリール基である。)

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される繰り返し単位を有する光硬化性シラザン化合物(A)、少なくとも2個の(メタ)アクリロイル基を有する光硬化性化合物(B)及び光重合開始剤(C)を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(上式において、R1はラジカル重合性不飽和基を含む基であり、R2、R3及びR4は互いに同一であるか又は異なる基であり、水素原子、炭素原子数1〜3のアルキル基又はアリール基である。)

IPC (10件)：

G03F 7/075 511 , C08F 2/46 , C08F290/14 , C09D 4/02 , C09D183/14 , G03F 7/027 501 , G03F 7/028 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (10件)：

G03F 7/075 511 , C08F 2/46 , C08F290/14 , C09D 4/02 , C09D183/14 , G03F 7/027 501 , G03F 7/028 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (88件)：

2H025AA00 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC42 , 2H025BC53 , 2H025BC77 , 2H025CA01 , 2H025FA03 , 2H025FA15 , 2H025FA29 , 2H096AA00 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA02 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QA27 , 4J011QA43 , 4J011QB03 , 4J011QB20 , 4J011QB22 , 4J011QB24 , 4J011QB25 , 4J011SA02 , 4J011SA04 , 4J011SA16 , 4J011SA46 , 4J011SA54 , 4J011SA64 , 4J011SA82 , 4J011UA01 , 4J011UA03 , 4J011UA04 , 4J011UA05 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J027AA02 , 4J027AE02 , 4J027AE03 , 4J027AE04 , 4J027AG01 , 4J027AH03 , 4J027AJ08 , 4J027BA23 , 4J027BA24 , 4J027BA26 , 4J027BA27 , 4J027CA18 , 4J027CA19 , 4J027CA36 , 4J027CB03 , 4J027CB09 , 4J027CB10 , 4J027CC02 , 4J027CC03 , 4J027CC05 , 4J027CC06 , 4J027CC08 , 4J027CD10 , 4J038FA121 , 4J038FA122 , 4J038FA211 , 4J038FA212 , 4J038FA241 , 4J038FA242 , 4J038FA251 , 4J038FA252 , 4J038FA281 , 4J038FA282 , 4J038JA29 , 4J038JA33 , 4J038JA34 , 4J038JB39 , 4J038JC18 , 4J038KA03 , 4J038NA18 , 4J038PA17 , 4J038PB08 , 4J038PC03

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