特許

J-GLOBAL ID：200903037621733032

高速走査探針顕微鏡用高周波振動探針

発明者： ジェ ウォン ホー ,  セオ ヨン ホー
出願人/特許権者： ジェ ウォン ホー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-155436
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228573
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 振動走査探針の走査速度を改善して、迅速な試料の観測を可能とし、特に、移動する物体の観測も行い得る高速走査探針顕微鏡用高周波振動探針を提供することを目的とする。【解決手段】 固有振動数範囲が1MHz〜100MHz、厚さが0.01mm〜2.0mmである高周波水晶共振子20と、前記水晶共振子に装着された電極21と、前記水晶共振子20に装着された高周波振動探針22と、を備えて構成される。

請求項（抜粋）：

固有振動数が1MHz〜100MHz、0.01mm〜2.0mmの範囲の厚さを有する高周波水晶共振子と、前記水晶共振子に接着された電極と、前記水晶共振子に装着された走査探針と、を備えて構成されることを特徴とする高速走査探針顕微鏡(SPM)用高周波振動探針。

IPC (5件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/14 ,  G12B 21/06 ,  G12B 21/08

FI (5件)：

G01N 13/16 C ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/14 B ,  G12B 1/00 601 C ,  G12B 1/00 601 D

Fターム (12件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG19 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069RR03