特許
J-GLOBAL ID：200903037624349160
回折格子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横沢 志郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-111426
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297207
出願日： 1996年05月02日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 高湿度雰囲気中で長時間使用しても、回折特性を良好に保つことのできる回折格子を実現すること。【解決手段】 回折格子1は、透明基板2を有し、この表面201に周期的に光学膜3が形成されている。透明基板2の表面201には、光学膜3と透明基板2の表面が露出した露出部分202とが交互に形成されている。それらの透明基板の露出部分202および光学膜3の表面には防湿用保護膜4が形成されている。露出部分202および光学膜の表面203は防湿用保護膜4によって覆われているので、これらの部分での吸湿量を抑制して、その回折特性の劣化を防止できる。
請求項（抜粋）：
透明基板の表面に、光学膜および前記透明基板の露出部分が交互に形成された回折格子において、前記光学膜および前記透明基板の露出部分を覆う防湿用保護膜を備えていることを特徴とする回折格子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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