特許

J-GLOBAL ID：200903037624889289

検査装置及び検査方法

発明者： 森田 昌幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345467
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165861
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 検査対象に照射する照明光の照射光量を適切な値に調整して、検査対象にダメージを与えることなく、検査対象の検査を適切に行えるようにする。【解決手段】 光源3から出射された照明光の光量を光量モニタ5によってモニタリングする。そして、光量モニタ5によってモニタリングされた照明光の光量に応じて、制御部8がシャッタ4を制御して、検査対象に照射される照明光の光量を調整する。例えば、光量モニタ5によってモニタリングされた照明光の光量が、検査対象にダメージを与える照射閾値に近づいたときは、制御部8の制御によりシャッタ4を閉じて、光源3から出射された照明光をこのシャッタ4により遮断する。

請求項（抜粋）：

照明光により照明された検査対象を観察してこの検査対象の状態を検査する検査装置であって、上記検査対象を照明する照明光を出射する光源と、上記光源から出射された照明光を上記検査対象に導く照明光学系と、上記検査対象に照射される照明光の照射光量をモニタリングするための光量モニタ手段とを備え、上記照明光学系中に、上記光源から出射された照明光を透過又は遮断するシャッタ手段が設けられており、このシャッタ手段を上記光量モニタ手段によりモニタリングされた照明光の照射光量に応じて制御することによって、上記検査対象に照射される照明光の照射光量を調整することを特徴とする検査装置。

IPC (6件)：

G01N 21/84 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/956 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/84 E ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 Z ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 A

Fターム (74件)：

2F064MM02 ,  2F064MM22 ,  2F064MM24 ,  2F064MM26 ,  2F064MM31 ,  2F064MM45 ,  2F065AA02 ,  2F065AA22 ,  2F065CC18 ,  2F065DD16 ,  2F065EE03 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL23 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL57 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ29 ,  2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BC03 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CA39 ,  4M106DB03 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB11 ,  4M106DB12 ,  4M106DB14 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ12 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ19 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057BA17 ,  5B057BA19 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC02 ,  5B057CH08 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC03 ,  5B057DC09 ,  5B057DC16