特許

J-GLOBAL ID：200903037634045585

真空処理室の調圧方法

発明者： 赤尾 徳信 ,  岡山 智彦
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-195455
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015378
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】真空処理室に於いて、調圧作動時の時間の無駄を省略し、スループットの向上を図る。【解決手段】ガス導入ライン5と、排気ライン7と調圧ライン9が連通され前記調圧ラインが可変コンダクタンス弁11を有する真空槽1に於いて、調圧開始時には前記真空槽を封込め状態にし、前記ガス導入ラインよりガスを導入し、所定の圧力に達した時に前記調圧ラインを開いて可変コンダクタンス弁による調圧を行う真空処理室の調圧方法に係り、調圧の為導入したガスは排気されることなく無駄なく昇圧の為に真空槽内に貯溜され、時間の無駄がない。

請求項（抜粋）：

ガス導入ラインと、排気ラインと調圧ラインが連通され前記調圧ラインが可変コンダクタンス弁を有する真空槽に於いて、調圧開始時には前記真空槽を封込め状態にし、前記ガス導入ラインよりガスを導入し、所定の圧力に達した時に前記調圧ラインを開いて前記可変コンダクタンス弁による調圧を行うことを特徴とする真空処理室の調圧方法。

IPC (4件)：

B01J 3/02 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

B01J 3/02 K ,  C23C 16/44 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B