特許
J-GLOBAL ID：200903037642986143
電界放出形電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316780
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162978
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】多段加速方式電子銃を搭載した電界放出形電子顕微鏡において電子顕微鏡を観察している状態で、陰極から引出される電子線量(引出電流)を常時一定にすること。【構成】電界放出形電子顕微鏡の多段加速方式電子銃において引出電圧発生電源,初段加速電圧発生電源,加速電圧発生電源,フラッシング電源を具備し、新たに設けた高電圧制御手段で引出電流を一定にするため引出電圧の昇圧分に同期して初段加速電圧を昇圧する。【効果】陰極から引出された引出電流を一定にして電子顕微鏡を観察出来るため、試料に照射される電子線量が一定になり、X線による元素分析や像観察に大いに効果がある。
請求項（抜粋）：
電界放出陰極とこの陰極から電子を電界放出させる引出電極と引出電極に設けられた小孔から出た電子線を加速する2段以上の加速電極と引出電圧を制御する引出電圧発生電源と引出電流を検出する手段と初段の加速電圧に印加する電圧を制御する初段加速電圧発生電源を有する電界放出形電子顕微鏡において、引出電流を一定にするよう引出電圧を可変すると同時に引出電圧に連動し初段の加速電圧を可変するよう高電圧制御手段を設けたことを特徴とする電界放出形電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/073
, H01J 37/248
