特許
J-GLOBAL ID：200903037644658984
真直度測定器用エアスライド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331406
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141426
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 真直度測定器の運動精度を向上させ、かつ測定器全体を小型コンパクト化する。【構成】 ガイド軸11の静圧空気軸受としての機能に不要な側面中央部の窪み部14、15にそれぞれリニアモータ用コイル16とリニアスケール19を収容し、窪み部14、15と対向するスライダ12側の凹部17と凹部20にそれぞれリニアモータ用マグネット18とスケール読取用センサ21を収容し、1本のガイド軸11上に駆動系と静圧空気軸受とを一体化する。
請求項（抜粋）：
両端支持形のガイド軸と該ガイド軸に沿って摺動するスライダにより静圧空気軸受を構成し、前記ガイド軸の側面中央部に窪み部を設け、該窪み部に対向してスライダ側に設けた凹部との空間部内に前記スライダを摺動するための駆動系を組込んだことを特徴とする真直度測定器用エアスライド。
IPC (3件)：
F16C 32/06
, G01B 21/30 101
, H02K 41/02
